無需點、直線(xian)、圓等(deng)要素即可(ke)(ke)進行自(zi)動判定。 尺寸顯示功(gong)(gong)能(neng)(neng) 可(ke)(ke)在(zai)測量(liang)圖上(shang)顯示參數、幾何偏差等(deng)實測量(liang)值。 形(xing)狀合成功(gong)(gong)能(neng)(neng) 合成功(gong)(gong)能(neng)(neng)解(jie)消了(le)因(yin)測針(zhen)角度而使分析(xi)范圍(wei)受(shou)限的(de)問(wen)題 峰值谷值搜尋功(gong)(gong)能(neng)(neng) 可(ke)(ke)由(you)測針(zhen)軌跡(ji)檢測出工件(jian)的(de)Z大(da)點，容易進行對準(zhun)。 計(ji)算點的(de)重復(fu)功(gong)(gong)能(neng)(neng) 具有重復(fu)形(xing)狀的(de)工件(jian)只需分析(xi)1🐬個(ge)圖案便可(ke)(ke)以對整個(ge)工件(jian)進行分析(xi)。 工件(jian)軌跡(ji)功(gong)(gong)能(neng)(neng)
通過演示(shi)·回放(fang)功能可以(yi)自(zi)動進行從測量(liang)到(dao)采用(yong)數據(ju)粘貼制(zhi)作檢查(cha)成績書等一系列操作。 Z高測量(liang)速度(du)(du)達20mm/s，Z大移動速度(du)(du)達60mm/s，速度(du)(du)如此(ci)之快大大提高了測量(liang)效率。
高精度的(de)輪廓測(ce)量，Z方(fang)向1µm以下的(de)測(ce)量。（變位5mm時） 自動要素(su)判定功能(neng)（AI功能(neng)） 無(wu)需點、直線、圓等要素(su)即(ji)可(ke)進行自動判定。 尺寸顯示(shi)功能(neng) 可(ke)在測(ce)量圖上顯示(shi)參數、幾何偏差(cha)等實測(ce)值。 形狀合成功能(neng) 合成功能(neng)解(jie)消了因測(ce)針角度而使分析(xi)范圍受限的(de)問題。
